Thiết bị xử lý bề mặt khuôn ép plasma
Máy làm sạch plasma tiên tiến được thiết kế cho ngành bán dẫn và quang điện tử, sử dụng công nghệ plasma lõi của Đức và kỹ thuật chính xác để mang lại hiệu suất xử lý bề mặt vượt trội.
Tổng quan sản phẩm
Máy làm sạch plasma chân không nhỏ gọn này sử dụng công nghệ ghép cảm ứng và hoạt động xuất sắc với các ống và linh kiện vi sóng cách điện. Lý tưởng cho việc xử lý các sản phẩm nhạy cảm yêu cầu tiêu chuẩn vệ sinh cao, máy xử lý hiệu quả nhựa, vật liệu sinh hóa, PDMS, thủy tinh, chất bán dẫn kim loại, gốm, vật liệu composite, polymer và các vật liệu khác để đạt được khả năng làm sạch bề mặt vượt trội, khử trùng, tăng cường khả năng thấm ướt, sửa đổi đặc tính bề mặt và cải thiện lực liên kết.
Tính năng chính
- Tối ưu hóa cho sản xuất quy mô nhỏ và các ứng dụng nghiên cứu khoa học
- Thiết kế nhỏ gọn, dễ vận hành và bảo trì
- Công nghệ plasma lõi của Đức cho hiệu suất đáng tin cậy
- Cấu tạo bằng thép không gỉ 316 nhập khẩu chống ăn mòn
- Kiểm soát lưu lượng chính xác với van kim nhập khẩu
- Kênh khí phản ứng kép cho các ứng dụng đa năng
- Có tùy chọn tùy chỉnh cho các yêu cầu cụ thể
Thông số kỹ thuật
| Thông số |
Thông số kỹ thuật |
| Độ chân không |
30Pa-100Pa |
| Lưu lượng khí |
0-100ml/s |
| Thời gian làm sạch |
Có thể điều chỉnh (1-9999s) |
| Chế độ làm mát |
Làm mát bằng không khí |
| Kênh khí |
Khí làm việc hai chiều (Argon, hydro, oxy, nitơ, không khí, v.v.) |
| Hệ thống điều khiển |
PLC + Màn hình cảm ứng |
| Nhiệt độ khoang chân không |
<50 ℃ |
| Bơm chân không |
Bơm dầu/bơm khô (tùy chọn) |
| Nguồn điện |
AC220V(±10V) |
Thiết bị chuyên dụng có thể được tùy chỉnh cho các dạng vật liệu, kích thước và yêu cầu năng lực sản xuất khác nhau.
Các thành phần thiết bị
Hệ thống làm sạch plasma bao gồm năm thành phần chính:
- Buồng phản ứng: Bao gồm buồng chân không và điện cực, cung cấp không gian phản ứng plasma để xử lý các vật phẩm
- Hệ thống chân không: Bao gồm đồng hồ đo chân không, bơm chân không và đường ống để hút không khí và duy trì mức chân không tối ưu
- Hệ thống phóng điện: Cung cấp năng lượng để kích thích ion hóa khí phản ứng và tạo ra plasma cần thiết
- Hệ thống điều khiển điện tử: Điều khiển hoạt động của thiết bị theo các thông số quy trình tối ưu và duy trì sự ổn định
- Hệ thống kiểm soát lưu lượng nạp: Có lưu lượng kế và van điện từ để kiểm soát lưu lượng khí chính xác và duy trì chân không
Quy trình vận hành
- Mở cửa buồng chân không, đặt vật phẩm cần xử lý và đóng cửa chắc chắn
- Bật công tắc nguồn chính và cấu hình các thông số thông qua giao diện màn hình cảm ứng
- Thiết bị tự động thực hiện các thông số đã đặt (chân không → nạp khí → phóng điện → trống)
- Còi báo hiệu hoàn thành chu trình xử lý
- Mở cửa buồng và lấy vật phẩm đã xử lý ra
Nguyên lý công nghệ Plasma
Giới thiệu về Plasma
Plasma đại diện cho trạng thái thứ tư của vật chất, cùng với rắn, lỏng và khí. Sử dụng các hạt năng lượng cao, plasma cho phép kích hoạt bề mặt, khắc và khử nhiễm thông qua các phản ứng vật lý và hóa học, cải thiện các đặc tính bề mặt vật liệu bao gồm hệ số ma sát, độ bám dính và tính ưa nước.
Hiệu quả làm sạch bằng Plasma
Công nghệ làm sạch bằng plasma tận dụng đặc tính của plasma nhiệt độ thấp để làm sạch bề mặt vật liệu bằng hóa học và vật lý, tăng cường độ mịn, cấy các nhóm chức hóa học mới và cho phép khắc chính xác.
Làm sạch và kích hoạt bề mặt
Hình thành nhóm chức
Việc đưa khí phản ứng vào khí phóng điện tạo ra các phản ứng hóa học phức tạp trên bề mặt vật liệu đã được kích hoạt, tạo ra các nhóm chức mới như hydrocacbon, amidogen và carboxyl, giúp tăng cường đáng kể hoạt tính bề mặt.
Khắc bằng Plasma
Khắc bằng plasma loại bỏ các chất khí dễ bay hơi được tạo ra bằng cách tạo plasma từ các loại khí đã chọn và vật liệu bề mặt rắn. Quá trình plasma phản ứng này mang lại tốc độ khắc và độ đồng đều cao, với các thông số plasma ảnh hưởng quan trọng đến hiệu quả khắc.
Quy trình làm sạch bằng Plasma
Ưu điểm của làm sạch bằng Plasma
- Giải pháp thân thiện với môi trường thay thế cho làm sạch ướt truyền thống (không chứa VOC)
- Chi phí vận hành thấp sử dụng khí làm môi trường phản ứng (oxy)
- Phạm vi ứng dụng rộng rãi không phân biệt vật liệu
- Hiệu quả làm sạch cao với khả năng tự động hóa
- Loại bỏ bụi bẩn và cải thiện đặc tính bề mặt đồng thời
So sánh hiệu suất
Đo góc tiếp xúc xác định khả năng thấm ướt chất lỏng trên bề mặt rắn. Góc dưới 90° cho thấy bề mặt ưa nước với khả năng thấm ướt tốt hơn ở góc nhỏ hơn, trong khi góc trên 90° cho thấy đặc tính kỵ nước.
Đo giá trị Dyne đánh giá khả năng liên kết bề mặt vật liệu trong các ứng dụng in, phủ, cán màng và hàn. Giá trị Dyne cao hơn cho thấy hiệu suất liên kết vượt trội với các vật liệu khác.
Ứng dụng phổ biến
Sửa đổi bề mặt vật liệu polymer để cải thiện đặc tính liên kết
Loại bỏ cặn oxit khỏi các bộ phận điện tử để nâng cao chất lượng và hiệu quả liên kết
Loại bỏ chất ô nhiễm hữu cơ trên đế thủy tinh
Loại bỏ dầu trên bề mặt kim loại
Làm sạch và sửa đổi graphene và bột
Liên kết kích hoạt bề mặt PDMS
Đảm bảo chất lượng & Dịch vụ
Bảo hành toàn diện 1 năm với hỗ trợ kỹ thuật trong suốt thời gian bảo hành. Cung cấp đầy đủ tài liệu và đào tạo để vận hành và bảo trì thiết bị tối ưu.
- Tài liệu kỹ thuật đầy đủ bao gồm hướng dẫn vận hành, vận hành thử và bảo trì với sơ đồ mạch điện, mạch khí và đường ống
- Hướng dẫn chuẩn bị lắp đặt chi tiết
- Đào tạo từ xa toàn diện bao gồm vận hành bình thường, sửa chữa, bảo trì, phân tích sự cố và quy trình khẩn cấp
- Tài liệu hỗ trợ kỹ thuật và bảo hành với thông tin liên hệ
