Khuôn ép plasma Thiết bị xử lý bề mặt cho ngành công nghiệp quang điện tử bán dẫn

Thiết bị xử lý bề mặt Khuôn phun plasma Công nghiệp quang điện bán dẫn

1. Giới thiệu sản phẩm

Máy làm sạch plasma chân không nhỏ này sử dụng nguyên lý làm việc kiểu khớp nối cảm ứng, và đóng vai trò nổi bật trong việc cách nhiệt ống vi sóng và các bộ phận.Nó phù hợp để xử lý các sản phẩm nhạy cảm với độ sạch cao. Nó có thể xử lý nhựa, vật liệu sinh hóa, PDMS, chất bán dẫn thủy tinh hoặc kim loại, gốm sứ, vật liệu composite, polymer và các vật liệu khác, Nó có tác dụng làm sạch bề mặt siêu sạch, khử trùng, cải thiện khả năng thấm ướt thay đổi, thay đổi tính chất bề mặt và cải thiện lực liên kết trên bề mặt vật liệu.

2. Đặc điểm

• Chủ yếu áp dụng cho sản xuất quy mô nhỏ và thí nghiệm khoa học.
• Khối lượng nhỏ, cấu trúc chặt chẽ và dễ vận hành và bảo trì.
• Công nghệ lõi plasma của Đức.
• Chất liệu inox 316 nhập khẩu;chống ăn mòn.
• Máy kiểm soát lưu lượng chính xác van kim nhập khẩu.
• Kênh khí phản ứng quá trình hai chiều.
• Tùy biến có sẵn.

3. Thông số kỹ thuật:

4. Thành Phần Trang Bị:

Máy làm sạch plasma bao gồm buồng phản ứng (còn được gọi là buồng chân không), hệ thống chân không, hệ thống xả, hệ thống điều khiển điện, hệ thống kiểm soát lưu lượng.

1. buồng phản ứngbao gồm một buồng chân không và một điện cực, là không gian phản ứng plasma.Các vật phẩm cần xử lý được đặt trong buồng phản ứng.
2. hệ thống chân khôngbao gồm một máy đo chân không, một bơm chân không và một ống hút chân không, có nhiệm vụ loại bỏ không khí trong buồng phản ứng và duy trì độ chân không thích hợp trong suốt quá trình hoạt động.
3. hệ thống xảcung cấp tín hiệu và năng lượng cho buồng phản ứng để kích thích quá trình ion hóa khí phản ứng trong buồng phản ứng để tạo thành plasma cần thiết.
4. chức năng củahệ thống điều khiển điện tửlà kiểm soát quy trình hoạt động của thiết bị theo các bước và tham số quy trình tối ưu, đồng thời duy trì sự ổn định của các tham số quy trình
5. Hệ thống kiểm soát lưu lượng nạpchủ yếu bao gồm đồng hồ đo lưu lượng và van điện từ, vai trò của nó là kiểm soát chính xác lưu lượng khí nạp phản ứng và duy trì mức độ chân không cần thiết trong quá trình vận hành.

5. Vận hành thiết bị

1) Mở cửa buồng chân không, đặt các vật phẩm cần xử lý vào buồng chân không và đóng cửa buồng chân không;

2) Bật công tắc nguồn chính và cài đặt thông số qua màn hình cảm ứng;

3) Thiết bị sẽ tự động chạy theo các thông số đã cài đặt (hút chân không → hút khí → xả → hết).Sau khi xử lý, còi sẽ reo để nhắc nhở người vận hành rằng thí nghiệm đã hoàn thành;

4) Mở nắp cửa buồng chân không và lấy các vật phẩm đã xử lý ra.

6. Nguyên tắc làm sạch bằng plasma

• Giới thiệu về Plasma:

Plasma là một loại trạng thái tồn tại của vật chất.Nó thường nằm cạnh các trạng thái rắn, lỏng và khí của một chất và được gọi là "trạng thái thứ tư của vật chất".Nó có thể sử dụng các hạt năng lượng cao plasma và phản ứng vật lý và hóa học bề mặt vật liệu để thực hiện kích hoạt bề mặt vật liệu, ăn mòn, khử nhiễm và các quá trình khác, cũng như hệ số ma sát vật liệu, độ bám dính và ưa nước và các đặc tính bề mặt khác của mục đích sự cải tiến.

• Hiệu quả làm sạch của Plasma:

Bề mặt của vật liệu được xử lý được làm sạch về mặt hóa học và vật lý bằng cách làm cho plasma và bề mặt vật liệu tiếp xúc và phản ứng bằng công nghệ làm sạch plasma (đặc tính plasma ở nhiệt độ thấp) để cải thiện độ nhẵn bề mặt, cấy nhóm chức hóa học mới và thực hiện quá trình ăn mòn.

(1) Làm sạch và kích hoạt bề mặt vật liệu

(2) Hình thành nhóm chức mới- Tác dụng hóa học.

Nếu khí chất phản ứng được đưa vào khí phóng điện, phản ứng hóa học phức tạp sẽ xảy ra trên bề mặt của vật liệu hoạt hóa.Các nhóm chức năng mới sẽ được giới thiệu, chẳng hạn như hydrocarbyl, amidogen và carboxyl, tất cả đều là các nhóm hoạt động và có thể cải thiện đáng kể hoạt động của bề mặt vật liệu.

(3) Khắc plasma.

Khắc plasma là quá trình loại bỏ chất khí dễ bay hơi sinh ra bằng cách tạo ra plasma của một loại khí và chất phù hợp được chọn trên bề mặt rắn.

Kỹ thuật khắc plasma thực sự là một loại quy trình plasma phản ứng.Cái gọi là plasma trực tiếp, còn được gọi là khắc ion phản ứng, là một dạng mà plasma được khắc trực tiếp.Ưu điểm chính của nó bao gồm tốc độ ăn mòn cao và đồng đều.Các thông số công nghệ của plasma đóng một vai trò quan trọng trong hiệu ứng ăn mòn.

7. Quy trình làm sạch bằng plasma:

8. Ưu điểm làm sạch plasma:

• Nó thay thế công nghệ làm sạch ướt truyền thống, thân thiện với môi trường và thân thiện với môi trường (không chứa VOC).
• Khí đóng vai trò là môi trường phản ứng nên chi phí vận hành thấp (oxy).
• Phạm vi ứng dụng rộng rãi;không cần phân biệt đối tượng xử lý và vật liệu nền (sơ đồ vật liệu).
• Hiệu quả làm sạch cao và dễ dàng thực hiện tự động hóa.
• Cải thiện hiệu suất bề mặt vật liệu và lực kết dính trong khi loại bỏ bụi bẩn.

9. So sánh trước và sau khi điều trị bằng huyết tương:

Góc tiếp xúc của chất lỏng trên bề mặt vật liệu rắn là một thông số quan trọng để đo độ ẩm của chất lỏng trên bề mặt vật liệu. Nếu θ <90°, bề mặt rắn ưa nước và Góc càng nhỏ thì khả năng thấm ướt càng tốt;nếu θ>90°, bề mặt rắn kỵ nước.

Phép đo giá trị dyne rất phổ biến trong in ấn, sơn phủ, cán mỏng, hàn và các ứng dụng khác.Nó có thể phản ánh khả năng liên kết dễ dàng của bề mặt vật liệu.Nói chung, giá trị dyne càng lớn thì hiệu suất liên kết của bề mặt với vật liệu khác càng tốt.

10. Ứng dụng phổ biến:

Biến tính bề mặt vật liệu polyme Cải thiện đặc tính liên kết bề mặt

Loại bỏ cặn oxit của các linh kiện điện tử, cải thiện chất lượng liên kết và tăng cường hiệu quả liên kết.

Chất nền thủy tinh loại bỏ chất gây ô nhiễm hữu cơ

Loại bỏ dầu khỏi bề mặt kim loại

Graphene và sửa đổi làm sạch bột khác

Liên kết kích hoạt PDMSSurface

11. Đảm bảo chất lượng và dịch vụ sau bán hàng:

Bảo hành 1 năm, Nếu thiết bị bị lỗi trong thời gian bảo hành, nhà cung cấp nên bố trí nhân sự theo dõi và xử lý cho đến khi khắc phục sự cố.

1) Phụ kiện và Thông tin kèm theo thiết bị.

Khi thiết bị được giao, nhà cung cấp phải cung cấp một bộ tài liệu kỹ thuật hoàn chỉnh liên quan đến vận hành, chạy thử và bảo trì, bao gồm cả sổ tay hướng dẫn vận hành và bảo trì. Sổ tay bảo trì phải có sơ đồ mạch, sơ đồ mạch khí và sơ đồ đường ống.

2) Việc cài đặt

Cung cấp tất cả các chi tiết cần thiết để chuẩn bị cho việc lắp đặt thiết bị tại chỗ.

3) Đào tạo

Trong quá trình lắp đặt, đào tạo có thể được cung cấp từ xa, bao gồm vận hành bình thường, sửa chữa và bảo trì, phân tích các vấn đề về bể chứa và các quy trình khẩn cấp.

4) Cung cấp thiết bị để sử dụng và dịch vụ kỹ thuật sau bán hàng

Nhà cung cấp phải cung cấp các tài liệu về lắp đặt, vận hành và bảo trì thiết bị cũng như hỗ trợ kỹ thuật cho việc đào tạo vận hành. Đồng thời, một bản sao bảo hành cho biết ngày có hiệu lực và phạm vi bảo hành cũng như người liên hệ của Người bán.